觊时娱乐共羸欢乐

产品分类
您现在的位置: 主页 > 公司公告 > www.kb88.com面向湿式蚀刻清洗工艺的新式运用端有害气体铲除体系

www.kb88.com面向湿式蚀刻清洗工艺的新式运用端有害气体铲除体系

时间:2018-08-15 13:42 来源:未知 作者: 点击:

  面向湿式蚀刻清洗工艺的新式运用端有害气体铲除体系

  DAS Environmental Expert公司为半导体职业发明新的价值:新式SALIX体系能削减占地面积并进步功率,然后下降铲除本钱

  我国上海,2013年7月15日讯:坐落德国德累斯顿的DAS Environmental Expert公司是半导体职业废气处理范畴的全球抢先企业,该企业研制出名为SALIX的新式体系。SALIX是一种有害气体铲除体系,首要针对湿式蚀刻清洗台运用。DAS Environmental Expert公司废气处理事务部门总监Guy Davies博士表明:“咱们为了应对客户的需求而开发这一体系。早前,有一家铸造职业的大型企业期望寻求一种解决方案来处理湿式蚀刻清洗台发作的废气。2012年12月,DAS Environmental Expert公司安装了首套体系,并从本年一月起一向运转至今。经过对排放进行丈量,成果显现其体系彻底可以满意客户的需求,废气中未发现任何需求铲除的有害物质。”

  

  

  

SALIX

  半导体职业相同面临着继续的竞赛本钱压力

  因为该组织非常重视以担任的情绪运用资源,另一方面芯片制造商更为垂青功率,因而为湿式蚀刻清洗台装备运用端铲除工艺是一举两得的解决方案。Davies表明:“一部湿式蚀刻清洗台至多有12个腔室。现在,每个腔室的废气仍需凭借多个废气体系进行铲除,其需求运用杂乱的变换模块避免管道内部呈现堆积。但SALIX的呈现能让咱们从此不再需求这些体积巨大的设备。您只需为每部湿式蚀刻清洗台装备一套SALIX体系,以及一根用于运送洁净废气的管道。此外,SALIX比较之前的技能占地面积有了大幅度的下降。”

  该端铲除技能适用于单晶圆湿式蚀刻清洗台,迄今,没有有人考虑过为该体系装备运用端铲除设备,DAS Environmental Expert公司是现在仅有运用该技能的供货商。Davis对此表明:“这一状况现已有所改动。咱们现在已收到多家美国客户的垂询。业界关于SALIX的爱好日渐稠密,这是因为节约资源现在的含义远高过其本钱”。

  SALIX经过削减占地面积和进步功率相同可以下降铲除本钱

  在湿式蚀刻清洗台上出产IC芯片时,晶圆依照特定的加工过程并运用不同的溶液顺次进行清洗,对此Davis解说说:“详细包含纯水、酸性和碱性化学溶剂,以及挥发性溶剂。随后这些晶圆会被烘干,保证没有残留物质。”

  Davies说道:“清洗200毫米的晶圆时,整个片匣需求浸入溶液。芯片制造商现在依托所谓的单晶圆清洗工艺来清洗300毫米晶圆。该工艺会将单片晶圆浸入清洗溶液,并且在其间快速旋转。得益于这种旋转,清洗剂可以均匀地散布到晶圆外表,终究从晶圆边际甩出,并经过该体系内部的挡板搜集到一同。”

  从湿式蚀刻清洗台吸出的废气含有必定份额的清洗剂——不管是以气相方式,还是以液滴方式。曾经,这些清洗剂均依托极为杂乱的提取体系搜集。Davies说:“需求有几个这样的体系来别离并提取含有酸、碱以及溶剂的废气,因为只要别离汲取,才干有用避免管道呈现细粒堆积和冷凝现象。”

  SALIX运用化学和物理吸附的两阶段洗刷流程,在其源头从气流中直接铲除有害物质。凭借别离式出风口,有害气体从湿式蚀刻清洗台的加工腔室进入预洗刷器,后者经过运用喷嘴对气体进行预清洁。从这儿开端,澳洋顺昌1H16LED营收、毛利双降废气进入首个洗刷阶段,随后才是第二阶段,并选用彻底不同的洗刷液。因为没有任何技能或环境要挟,剩余的洁净空气可以直接排入空气中。

  凭借运用端铲除技能,SALIX可以有用避免其排气管发作阻塞。该体系不需求任何稀释空气,因而精心制备的洁净空气会仍然留在净室之中,以进一步下降本钱。

  公司简介

  DAS Environmental Expert公司是一家环保科技公司,总部设于德国德累斯顿。DAS成立于1991年,是全球抢先的工艺气体处理技能和设备解决方案供货商。DAS的技能已被广泛运用于半导体、TFT-LCD、电子工业以及太阳能工业的很多世界抢先企业中。公司另设有一个事务部门,专门为工业和共用废水开发处理和体系解决方案。DAS Environmental Expert事务遍及全球,www.kb88.com,现在具有230名职工,近年来年均销售额达2,100万欧元。

Copyright © 2013 觊时娱乐共羸欢乐,凯时国际,凯时网上娱乐,www.kb88.com All Rights Reserved 网站地图